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產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室氣體配比器質(zhì)量流量計(jì)CS系列CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介
CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
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產(chǎn)品分類| 品牌 | 七星華創(chuàng) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器數(shù)字式質(zhì)量流量控制器.高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號：CS200-A型
產(chǎn)品系列：CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品類型：高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
| 型號 | CS200-A | |||||||||
| 閥類型 | 常開(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉 | 無 | ||||||||
| 流量規(guī)格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | |||||||||
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |||||||||
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||
| 溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格＞30SLM | |||||||||
| 耐壓 | 3MPa | |||||||||
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |||||||||
| 密封材料 | 氟橡膠； | |||||||||
| 工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ | |||||||||
| 輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 | ||||||||
| 輸出信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |||||||||
| 零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S/年 | |||||||||
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||||||
| 表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | |||||||||
| 表面粗糙度 | 25 Ra | |||||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； 雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭; φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭; | |||||||||
| 電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | ||||||||
型號 | CS200-A | |
閥類型 | 常開(流量規(guī)格≤30SLM) 或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格＞30SLM | |
耐壓 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 氟橡膠； | |
工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ | |
輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S/年 | |
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | |
表面粗糙度 | 25 Ra | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； | |
電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
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